无尘室环境中使用的LCA设备(低成本自动化设备)的机构部的布置构成,是在重视以下两项知识的基础上进行设计的。
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在此,针对项目2.,对无尘室用LCA设备的布置构成进行说明。
无尘室用LCA设备的布置构成和无尘化三原则
(1)不带入污染物
・ 会活动的LCA必然会起尘。不会向工序核心(作业区域)带入污染物的布置构成是LCA机构设计的要点。
・ 污染会在气流和重力(自然落下)的作用下带入。因此,应思考可避免出现这种影响的机构布置。
■例
a) 会从驱动部出现磨损所导致的起尘和润滑油飞溅等。这些东西当达到某种程度的重污染时,就会在重力的作用下,向下掉落。为获得无尘的工序核心,驱动部系统布置在比工序核心部要靠下的位置。(活动梁搬运机构的情况等(参照【图1】)
b) 进行加压紊流式的简易无尘设计时,在污染出现位置的附近设置排气口,或是(【照片1】)将整个机构部盖住,并进行局部排气(参照【图2】)处理。
(2)不产生污染物
・ 这项目相比于布置构成,更与所选定材料相关。
(3)不堆积污染物
・ 采用不容易附着和堆积在工件(基板等)上的夹具方向结构和布置。
■例
a)将工件表里反转地进行固定的夹具,垂直固定的夹具等。
b)避免使得在工件顶面上出现气流滞留(【图3】)
・ 为了要提高无尘效果,不要分散布置可使得因应于气流的流动起尘的机构单元,而是集中布置在气流的下游区域。